HV, mit Softpump-Funktion - Reihe 29
für turbulenzreduziertes und partikelarmes Abpumpen

Die neuesten Entwicklungen in der Halbleiterindustrie erfordern kontrollierbare Abpumpabläufe, möglichst wenig Turbulenzen, geringste Partikelerzeugung und reproduzierbare Durchflüsse. Um diesen Anforderungen gerecht zu werden sind entsprechende Ventile in den Pumpleitungen erforderlich.

Speziell für derartige Anwendungen bietet VAT das neue Reihe 29 Ventil mit einem fortschrittlichen Softpump-System an. Überzeugen Sie sich selbst von der Leistungsfähigkeit dieses Produkts.

Einige der hervorragenden Eigenschaften sind:

• Skala zum stufenlosen Einstellen des Durchflusses
• Einfache, präzise und wiederholbare Einstellung
• Blendenöffnung unabhängig von der Toleranz des Hubes
• Preisgünstig
• Einfache Wartung

Auf den nachstehenden Bildern ist ersichtlich, wie sich die Einstellung der Soft-Pump-Einheit auf die Turbulenzerzeugung auswirkt. Je kleiner die Blendenöffnung, desto geringer die Turbulenzen.

Ventil DN 40 ganz offen	Ventil DN 40 mit Soft-Pump grösste Blendenöffnung	Ventil DN 40 mit Soft-Pump kleinste Blendenöffnung
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Vakuum Reihe 24
	Modulare Konstruktion mit Schiebedurchführung für grosse Gasflüsse

HV Reihe 26
	Modulare Konstruktion mit Balgdurchführung

UHV Reihe 28
	Extrem geringe Ausgasrate, für viele korrosive Gase geeignet

XHV Reihe 54
	Ausheizbar bis 300°C offen/ geschlossen

XH Reihe 57
	Ausheizbar bis 450°C offen 350°C geschlossen

 Details